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Dr. rer. nat. Frank Hillmann Diplom-Physiker MueTec Automatisierte Mikroskopie und Meßtechnik GmbH Isarauer Str. 77 D-94527 Aholming Tel. : (09938) 91 91 276 Fax : (09938) 91 91 19 Veröffentlichungen Patente	Mue Tec GmbH Aholming München LWM 500 WI Leica LWM 500 WI, Montage bei MueTec in Kooperation mit Leica Microsystems. Das weltweit erste (und einzige) patentierte DUV (Deep UV, Wellenlänge 248 nm) CD (=critical dimension) Meßsystem für Strukturgrößen auf High-End Photomasken für die Mikrochip-Produktion mit Immersionstechnologie
MueTec 50 Das MueTec 50 steht am unteren Ende der Automatisierungsstufen unserer Mikroskope mit Software u.a. zur Linienbreitenmessung auf Wafern, Photomasken und MEMS (Mikro-elektromechanische Systeme).	MueTec 100 Das MueTec 100 bietet einen höheren Grad an Automatisierung als das MueTec 50. Ein rechnergesteuerter Positioniertisch ermöglicht Dank der Mess- und Steuersoftware bereits automatische Messungen.
MueTec 2010 Das MueTec 2010 wurde speziell für hochpräzise Messungen sowie Defektinspektion auf Masken bis zu 6-Zoll konzipiert. Charakteristisch sind u.a. ein Laser-Autofokus, eine Vibrationsisolierung sowie die Möglichkeit der Beleuchtung im Durchlicht/Auflicht bei verschiedenen Wellenlängen wie sichtbares Licht und UV (365 nm, 248 nm)	MueTec 2030 Das MueTec 2030 ist ein Spezialmikroskop für hochpräzise Messungen auf Masken bis zu 9 Zoll. Der Tisch ist eine MueTec-Eigenentwicklung. So wie beim MueTec 2010 gibt es auch hier ein Laser-Autofokus, eine Vibrationsisolierung und verschiedene Beleuchtungsmöglichkeiten.
MueTec 3000 Das MueTec 3000 ist ein vollautomatisches optisches Messsystem, je nach Ausbaustufe geeignet zur Messung von Linienbreiten, Overlay, Schichtdicke sowie für Defektinspektion. Es kann für Wellenlängen von Infrarot bis Ultraviolett konfiguriert werden, bei Bedarf auch alles in einem Gerät.	MueTec 5500 Das MueTec 5500 ist ein Spezialmikroskop für hochpräzise Messungen auf Substraten bis zu 22 Zoll. Das Gerät ist eine komplette MueTec-Eigenentwicklung für besonders große Substrate. Auch bei diesem Gerät gibt es ein ein Laser-Autofokus und eine komplette Automatisierung des Messprozesses.